干式螺杆真空泵使用较为简单，但是开停机过程仍然需要遵循一定的顺序。其中正常的停机顺序如下：
首先是关闭进气端的主阀；
其次是如果干式螺杆真空泵的抽气介质含有腐蚀性气体，以及粘性物质等，需要开启吹扫装置，对泵腔进行20～30分钟左右的清扫，清扫介质可以干燥的空气、氮气等惰性气体或者溶剂，来清洁泵腔内部，防止这些介质对泵产生影响；
第三，关闭电机，停止真空泵的运行；
第四，关闭干式螺杆真空泵的冷却水系统。
如果是在冬季或者寒冷的环境下，可能出现结冰现象，那么还需要将干式螺杆真空泵冷却水夹套内以及相关管路中的水排除干净，防止冻裂。
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